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石墨舟皿

来源:http://www.cgsmmj.com/product790379.html 发布时间:2021/12/8 11:11:11 返回列表

石墨舟皿

产品详情

  石墨舟皿可以分为两种形式,一种是槽型石墨舟皿,另一种是薄型石墨舟皿。

  槽型石墨舟皿包括若干条具有相对粮草面和底部只成凸起的W型双向斜槽、底面、上端面、内侧面、外侧面和鱼上端面相对的止口,其特征在于:所述相对的两槽面和上分别设计有至少一条排气通槽,所述底部支撑凸起与所述相对的粮草面和的橡胶处分别设计有一条棱角保护槽。

  薄型石墨舟皿,包括单面布置有如干载棒槽W的舟皿体、垫块和带有一定锥度的定位销,舟皿体平行载棒槽W的两端分别开有凹槽,垫块下端凸台与凹槽配合,定位销穿过凹槽中间的定位孔和垫块下端凸台中间的定位孔;载棒槽W的底部到舟皿体的底面的距离、顶部到舟皿体的底部台面的距离、垫块顶面到其上凸台面的距离、垫块与舟皿体配合后的其顶面到舟皿体底部台面的距离分别为2.0-8毫米、3-16毫米、3.8-12毫米、6.8-28毫米;载棒槽W的槽间距、槽底宽、槽高、夹角分别为2.6-12.4毫米、0.2-3毫米、1.2-9毫米、50°-60°;本实用新型既提高烧结炉单炉产量,延长舟皿的实际使用寿命,又节约舟皿材料。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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