石墨模具制作

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石墨模具制作

产品详情

　　近年来模具行业飞速发展，石墨材料、新工艺和不断增加的模具工厂不断冲击着模具市场，石墨以其良好的雾粒和化学性能铸件成为模具制作的材料。

　　石墨模具制作的特性：

　　（1）导热机导电性能好；

　　（2）线膨胀系数低等很好的热稳定性能及抗加热冲击性；

　　（3）与多数金属不易发生反应；

　　（4）在高温下强度随温度升高而增大；

　　（5）具有良好的润滑和康模型；

　　（6）易于加工，机械加工性能好，可以制作成形状复杂、精度高的模具。

　　模具是工业生产中使用极为广泛的基础工艺装备，模具工业是国民经济的基础工业。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。