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石墨替代块

来源:http://www.cgsmmj.com/product786129.html 发布时间:2021/11/22 14:48:02 返回列表

石墨替代块

产品详情


  石墨替代块的性能:

  (1)耐高温:石墨替代块是目前已知的较为耐高温的材料之一,其熔点为3850℃±50℃,沸点达4250℃,它在7000℃超高温电弧下10S,石墨的损失较小按重量级石墨损失0.8%,由此可见石墨的耐高温性能是很突出的;

  (2)导热性和导电性:石墨具有良好的导热性和导电性,与一般的材料相比,其导热导电性是相当高的,比不锈钢高4倍,比碳素钢高2倍,比一般的非金属高100倍;

  (3)特殊的抗热震性能:石墨具有良好的抗热震性能,即当温度突然变化时,热膨胀系数小,因而具有良好的热稳定性,在温度激冷即热的变化时,不会产生裂纹;

  (4)润滑性:石墨的润滑性能类似于二硫化钼,摩擦系数小于0.1,其润滑性能随鳞片大小而变,鳞片愈大,摩擦系数愈小,润滑性愈好;

  (5)化学稳定性:常温下石墨具有良好的化学稳定性,能耐酸、耐碱、耐有机溶剂的腐蚀。


  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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