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石墨套

来源:http://www.cgsmmj.com/product790381.html 发布时间:2021/12/8 11:11:58 返回列表

石墨套

产品详情

  石墨套主要密封件、石墨盘根,柔性石墨密封件,碳纤维盘根,四氟乙烯盘根。

  逝魔套的特点:

  1、即使经过超高温电弧灼烧,重量的损失很小,热膨胀系数也很小,石墨强度随着温度提高而加强,在2000℃的时候,石墨强度能提高一倍;

  2、导电、导热性:逝魔套的导电性比一般的非金属矿高一百倍,导热性超过钢、铁、铅等金属材料,甚至在极高的温度下,石墨成绝热体;

  3、润滑性:石墨套的润滑性能取决于石墨鳞片的大小,鳞片越大,摩擦系数越小,润滑性能越好;

  4、化学稳定性:石墨套在常温下有良好的化学稳定性,能耐酸、耐碱和耐有机溶剂的腐蚀;

  5、可塑性:石墨套的韧性好,可碾成很薄的薄片;

  6、抗热震性:石墨套在常温下使用时能经受住温度的剧烈变化而不致破坏,温度突变时,石墨的体积变化不大,不会产生裂纹。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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