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石墨支撑架

来源:http://www.cgsmmj.com/product790590.html 发布时间:2021/12/8 17:16:19 返回列表

石墨支撑架

产品详情

  石墨支撑架具有化学稳定性和抗侵蚀能力,石墨支撑架技术长期使用损耗也是非常少的,只要擦拭干净还和新的一样。

  石墨支撑架的成型方式:

  1、模压石墨;

  2、等静压石墨,也就是很多人叫的三高石墨,但是并不是三高就是等静压;

  3、挤压石墨,多为电极材料。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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