高纯石墨板

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高纯石墨板

产品详情

　　高纯石墨板，质量可靠。石墨板具有导电性好、耐高温和易加工等良好特性，因此广泛应用于冶金、化工、电化学等工业当中。石墨板：普通规格和高强、高密度石墨防选用石油焦为原料，采用的生产工艺和设备生产具有密度大、抗压和抗折强度高、气孔率低等特点，为冶金炉、电阻炉、炉衬材料、化工设备，机械模具、异型石墨件加工选用材料。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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