石墨棒

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石墨棒

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　　石墨棒、石墨棒结构，具有典型的层状结构，由于碳原子在石墨洁净格子的原子层中排列紧密，热振动困难，因而石墨棒、石墨板能耐高温并具有特殊的热性能。

　　石墨棒是碳元素的结晶矿物之一，具有软户型、化学稳定性、耐高温、导电、特殊的导热性和可塑性，涂敷性等优良性能。其应用领域十分广泛，在冶金工业中主要用作耐火材料；在铸造业中用作铸模行业防锈涂料；在电气工业中用于生产碳素电极、电极碳棒、电池、支撑的石墨棒，石墨板可用作电视机显像管涂料，制成的碳素制品可用于发电机、电动机、通训器材等诸多方面。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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