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石墨塞棒

来源:http://www.cgsmmj.com/product790685.html 发布时间:2021/12/9 8:37:55 返回列表

石墨塞棒

产品详情

  石墨塞棒为非金属制品,作为碳弧气刨切割工艺中的一张必备的焊接前的切割耗材,是由碳、石墨加上适当的粘合剂,通过挤压成型,经2200℃焙烤旋段后镀一层铜而制成,耐高温,导电性良好,不易断裂,适用于将金属切割成符合要求的形状。

  石墨塞棒常用于高温真空炉的电热体,较高使用温度可达3000℃,在高温下易于氧化,除尘空外,只能在中性气氛或还原性气氛中使用。其热膨胀系数较小,热导率较大,耐高温、耐极冷极热性好、价格较为便宜。

  1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

  2、用于硅外延设备,表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座,MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

  3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件,等离子刻蚀用石墨电极,半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

  4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚石墨舟皿及其配件,直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

  5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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