石墨底盘

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石墨底盘

产品详情

　　我司是从事石墨模具、石墨制品的厂家，主营产品有：石墨棒、石墨块、石墨底盘、地质钻底膜、石墨垫片，我司的技术、质量、服务为客户提供帮助。

　　（1）我们能够根据客户所提供的规格、尺寸，使用环境为您选料加工石墨制品；

　　（2）由于对石墨要求的质量比较高，一般我们会选用细结构国产高纯石墨，等静压石墨，也可依客户需求用进口石墨材料，确保产品在受热中不受损伤；

　　（3）石墨制品能够按照客户特定要求进行定制；

　　（4）生产的石墨制品保持强度高、耐高温、电阻率低等特性。

　　1、用于等离子体增强化学气相沉积法使用的PECVD石墨舟片、电极座、石墨螺丝、石墨螺帽。

　　2、用于硅外延设备，表面SiC涂层的立式、盘式、单片式石墨基座，MOCVD制程用SiC涂层石墨基座。

　　3、离子注入用石墨电极、衬块、石墨屏蔽罩等配件，等离子刻蚀用石墨电极，半导体封装制程用模具、高等级模板、治具。

　　4、感应加热锗氧化物、区熔半导体材料、熔化高纯度金属的石墨坩埚、石墨舟皿及其配件，直拉锗与化合物单晶的高纯石墨加热器、保温罩等。

　　5、蓝宝石HEM法生产中使用到的高纯度石墨加热器、石墨电极。

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